工作处理流程
自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载
电极配置和气体流量 |
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保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统 |
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通过强力排气及消除污染,彻底消除残留物 |
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射频发生器 |
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频率 |
13.56Hz |
输出功率 |
1000W Max |
配备自动匹配系统以最大限度地减少反射功率 |
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真空系统 |
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真空干泵/油泵 |
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安全 |
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紧急停止按钮,关闭所有功率和气体流量 |
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射频发生器互锁 |
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室门关闭检测 |
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安全玻璃检查观点 |
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电磁辐射抑制 |